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定义：
包含各种不同周期，不同排布的图形结构的元件。如图所示。
应用：
成像系统分辨率标定。
加工范围：
波长范围：可见光，红外；
材料：石英，硅，锗，硒化锌，氟化钙等等；
图形特征尺寸：大于1um。
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